市场调研公司VLSIResearch日前公布了2006年主要半导体制造设备供应商排名，位置没有什么变化，但销售额增长强劲。应用材料、TokyoElectron和ASML连续第五年位居前三。KLA-Tencor在2005和2006年稳居第四。但LamResearch增长强劲，排名从2005及2004年的第七位上升至2006年的第五位。其它供应商的排名都与2005年相同，只有Teradyne是个例外，它取代了ASMInternational。

应用材料、TokyoElectron和ASML分别代表美国、日本和欧洲，巩固了其领先设备制造商的地位。VLSIResearch估计，这三家公司2005-2006年销售收入分别增长了33.7%、13.8%和43.6%。KLA-Tencor增长17.6%至23.6亿美元，约是ASML的2006年销售额的一半。VLSIResearch估计ASML的2006年销售额约为45.4亿美元。