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低温探针台

低温探针台

产品型号:CG-196
特点:

温度范围:77K-480K

褶皱结构全框架焊接

外置探针座重新定位探针

桥式显微镜结构,易于打开腔体

可以通过显微镜X-Y样品台来精确移动显微镜

可以同时使用6个探针座

可选10PA的漏电流
可选防震桌
可选高真空腔



规格:

卡盘直径:40mm

温度范围:77K-480K,精度0.1摄氏度

液氮罐50公升

探针座线性X-Y-Z位移:25mm*25mm*25mm,精度10微米

显微镜X-Y位移:1"*1"
变焦:0.7X-4.5X
目镜:20X
总放大倍率:14X-90X

150W白色照明电源,亮度可连续调控

尺寸:1300mmW*1100mmD*1500mmH

重量:300kg



操作:

温度控制模块:

为了使温度低于室温,卡盘必须通过液氮冷却至低于预设的温度,PID控制器将通过加热卡盘内的加热元素精确控制预设的温度。

液氮模块:

气氮需要被压至真空罐以将液氮排出,液氮量由气氮压力,液氮出入口阀门控制。

真空腔模块

通过真空泵使真空率达到10-3托以用于低温应用,BNC母端口用于连接信号和测试设备。真空泵和废料过滤器可避免试验环境的污染。

探针座模块:

所有探针座位于腔体之外,有助工程师不需要真空排出腔体就可以测试,尤其当温度降低,晶圆将收缩从而使探针移动,工程师需要再次定位点针。

显微镜模块:

桥型结构使显微镜能快速的移到一边,容易打开腔盖。显微镜在真空腔上方直接观测,如果第一点之后的第二点在视线之外,显微镜可通过x,y轴位移移到第二点目标。光源亮度可连续调节。
参考价格:0
以上信息由厂家发布,未经本网站证实。
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地址: 中国·广东·深圳南山科技园科技中二路软件园4栋210 邮编518057 传真:86-755-86169288
联系:刘生 先生 发送邮件 手机:+86-13751175602
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